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- 產品名稱：SiC籽晶粘接設備
- 產品型號：YYSiC紫晶粘接
- 產品展商：燕園科技
- 產品文檔：無相關文檔
簡單介紹
本設備是將SiC籽晶通過有機膠粘接在石墨上。提高籽晶粘接質量是保證高 品質SiC晶體生長的首要前提。
產品描述
產品特點：
晶圓尺寸: 6-8英寸
Nafer size: 6-8 inches
溫度范圍: 溫度200-800℃，溫度均勻性±3℃
Temperature 200-800 C, temperature uniformity ±3 ℃
壓力: 極限20KN，力均勻性＜±1%
Pressure Maximum 20,000 N, Force Uniformity<±1%
真空度: ≤10Pa
Vacuum pressure: ≤10Pa
壓頭: 柔性壓頭/硬性壓頭
Indenter: Flexible indenter/rigid indenter